Schlüsseltechnologien für die Halbleiterfertigung

Zusammenfassung

Diese Veranstaltung bringt Akteure aus Industrie, Forschung und Innovation zusammen, um aktuelle Anwendungen von Optik, Lasertechnologie und Messtechnik in der Halbleiterproduktion zu beleuchten. Ziel ist es, Projekte aus der Praxis vorzustellen, neue Kooperationen anzustoßen und gemeinsam einen Blick auf zukünftige Entwicklungen zu werfen.

Unterstützt durch den IHK Anwenderclub Neue Materialien und Prozesse

Vorläufige Agenda

10.00 Uhr Begrüßung (Stephan Schech, Aerotech GmbH | Stephanie Wiedenmann, bayern photonics e.V. | Elfriede Eberl, IHK Mittelfranken)

10.15 Uhr  Who is in the room? (jeder ca. 1 Min./ zu sich & Unternehmen & „unser Beitrag zur Halbleiterfertigung“)

11.00 Uhr  Vorstellung Aerotech (Bryan Germann, Aerotech USA)           

11.25 Uhr  Das bayerische Halbleiter-Ecosystem  (Lukas Zillich, bayern innovativ) 

11.50 Uhr  Light Source Technology for Wafer Metrology & Inspection  (ASML Erlangen, angefragt)

12.15 Uhr  Mittagspause

13.35 Uhr  Hochleistungs-Ultrakurzpulslaser für zukünftige Anwendungen in der Halbleiterfertigung  (Dr. Daniel Grossmann, TRUMPF Laser SE)

14.00 Uhr  Oberflächenbearbeitung für die Halbleiterfertigung (TBD, Bayerisches Laserzentrum)

14.25 Uhr  TBD (Dr. Dennis Haasler, Fraunhofer ILT)

14.50 Uhr  Kaffeepause & Laserlaborführung bei Aerotech (Oliver Hentschel, Aerotech GmbH)

15.50 Uhr  TBD (Dr. Jan Werschnik, Photonics Precision Engineering Jena) 

16.15 Uhr  Laserinduzierte Plasmaspektroskopie (Dr. Carl Basler, Fraunhofer IPM) 

16.40 Uhr  Verabschiedung

17.30 Uhr Fränkischer Photonik Stammtisch im Grüner Brauhaus- Selbstzahler (bei der Anmeldung bitte Haken setzen; wir reservieren Tische)