Oxford Instruments WITec stellt mit der alpha300 Semiconductor Edition ein speziell für die Halbleitertechnik entwickeltes Raman-Mikroskop vor. Es verfügt über eine Scanstage mit einem besonders großen Arbeitsbereich, Wafer-Chuck Optionen und einen fortschrittlichen Workflow-Manager, mit dem auch komplexe Messabfolgen äußerst einfach definiert werden können.
